カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。
機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。
This M/C is the precise washing processing that consistently does drying even from the work input with the automatic Cleaning M/C.
The M/C type is able to select cassetteless boat conveyance method and even each both design
produces in accordance with the specification of the customer.
| ｳｴﾊｰｻｲｽﾞ | ～φ300m/m | Wafer Size | ～φ300m/m |
| HEPA 又はULPA |
フィルター内蔵 | HEPA or ULPA | Built-in filter |
| ロボット | サーボモーター | Robot | servo motor |
| 薬液槽 | 揺動、超音波洗浄、メガソニック | Chemical bath | Oscillation. US or MS |
| リンス槽 | バブリング、QDR、比抵抗計設置 | Rinse bath | Bubbling.QDR.Resisitivity meter |
| ULD | lonaizar（オプション） | ULD | lonaizar（option） |
| 乾燥 | S/D. IPA V/D. 引き上げ | Drying | S/D. IPA V/D. |
300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。Φ300まで対応可能です。
This is the washing M/C of the cassette type it is possible correspondence to 300mm.
