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ジャパンクリエイト株式会社
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 ウエハー自動洗浄装置

カセットレス自動洗浄装置

カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。
機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。

カセットレス自動洗浄装置

This M/C is the precise washing processing that consistently does drying even from the work input with the automatic Cleaning M/C.
The M/C type is able to select cassetteless boat conveyance method and even each both design
produces in accordance with the specification of the customer.

仕様
ウエハーサイズ ~φ300m/m Wafer Size ~φ300m/m
HEPA
又はULPA
フィルター内蔵 HEPA or ULPA Built-in filter
ロボット サーボモーター Robot servo motor
薬液槽 揺動、超音波洗浄、メガソニック Chemical bath Oscillation. US or MS
リンス槽 バブリング、QDR、比抵抗計設置 Rinse bath Bubbling.QDR.Resisitivity meter
ULD lonaizar(オプション) ULD lonaizar(option)
乾燥 S/D. IPA V/D. 引き上げ Drying S/D. IPA V/D.

工程例
工程例

300mmウエハ自動洗浄装置

300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。Φ300まで対応可能です。

300mmウエハ自動洗浄装置

This is the washing M/C of the cassette type it is possible correspondence to 300mm.

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