自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。
勿論工程の選択も出来ます。
ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。
工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。
本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。
This machine is automatic device of cassette to cassette for spin coater, Vacuum baking, aligner and spray developer, Used for φ300mm wafer, after cleaning bump solder plating.
| 外形 | W2300×D2300×H1850 | Dimensions(mm) | W2300×D2300×H1850 |
| ローダー | 1カセット収納 | Loader | 1 cassette |
| カップ | SUS304テフロンコート | Cup | SUS304+Teflon coating |
| ディスペンサー | 空圧式ダイアフラム方式 | Dispenser | Air diaphragm |
| 圧送タンク | レジストボトル用 | Pressure tank | For resist bottle |
| カップ自動洗浄 | アセトン、ベローズポンプ | Wash cup | Acetone with bellows pump |
| 気液分離タンク | SUS304 | Mist separator | SUS304 tank |
| 露光機 | オプション | Exposure system | Option |
| 現像用カップ | SUS304テフロンコート | Developer(cup) | SUS304+Teflon coating |
| ベーク炉 | ホットプレート、真空チャンバー | Baking | Hot plate , vacuum bake |
| 回転数 | MAX3000rpm | Speed of rotation | MAX3000rpm |
| モーター | 400W AC サーボモーター | Motor | 400W AC servo motor |
| 搬送機 | 多関節ロボット | Robot | SCARA robot |
| ハンガー | エッジクランプ方式 | Chuck | Edge cramp |
| ベーク | ホットプレート3段、搬送シャトル方式 | Baking | Hot plate 3steps , shuttle moving |
| アンローダー | 1カセット収納 | Unloader | 1 cassette |
自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。
処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。
工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。
本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。
This machine is automatic device of cassette to cassette for spin coater with baking, used for φ100mm wafer.
| 外形寸法 | W2000×D1500×H1750 | Dimension(mm) | W2000×D1500×H1750 |
| ローダー | 1カセット収納 | Loader | 1 cassette |
| センタリング | エアーシリンダー | Centering | Air cylinder |
| カップ | SUS304テフロンコート | Dispenser | Air diaphragm |
| 回転数 | MAX3000rpm | Speed of rotation | MAX3000rpm |
| モーター | 400W AC サーボモーター | Motor | 400W AC servo motor |
| 搬送機 | 多関節ロボット | Robot | SCARA robot |
| ハンガー | エッジクランプ方式 | Chuck | Edge cramp |
| ベーク | ホットプレート3段、搬送シャトル方式 | Baking | Hot plate 3steps , shuttle moving |
| アンロード | 1カセット収納 | Unloader | 1 cassette |
