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ジャパンクリエイト株式会社
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スピン洗浄装置

自動フォトリゾ装置

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。
勿論工程の選択も出来ます
ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。
工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。
本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。

枚葉式自動洗浄装置スプレータイプ

This machine is automatic device of cassette to cassette for spin coater, Vacuum baking, aligner and spray developer, Used for φ300mm wafer, after cleaning bump solder plating.

仕様
外形 W2300×D2300×H1850 Dimensions(mm) W2300×D2300×H1850
ローダー 1カセット収納 Loader 1 cassette
カップ SUS304テフロンコート Cup SUS304+Teflon coating
ディスペンサー 空圧式ダイアフラム方式 Dispenser Air diaphragm
圧送タンク レジストボトル用 Pressure tank For resist bottle
カップ自動洗浄 アセトン、ベローズポンプ Wash cup Acetone with bellows pump
気液分離タンク SUS304 Mist separator SUS304 tank
露光機 オプション Exposure system Option
現像用カップ SUS304テフロンコート Developer(cup) SUS304+Teflon coating
ベーク炉 ホットプレート、真空チャンバー Baking Hot plate , vacuum bake
回転数 MAX3000rpm Speed of rotation MAX3000rpm
モーター 400W AC サーボモーター Motor 400W AC servo motor
搬送機 多関節ロボット Robot SCARA robot
ハンガー エッジクランプ方式 Chuck Edge cramp
ベーク ホットプレート3段、搬送シャトル方式 Baking Hot plate 3steps , shuttle moving
アンローダー 1カセット収納 Unloader 1 cassette

自動レジストスピンコーター

自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。
処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。
工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。
本機の対象ワークは2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用します。

自動レジストスピンコター

This machine is automatic device of cassette to cassette for spin coater with baking, used for φ100mm wafer.

仕様
外形寸法 W2000×D1500×H1750 Dimension(mm) W2000×D1500×H1750
ローダー 1カセット収納 Loader 1 cassette
センタリング エアーシリンダー Centering Air cylinder
カップ SUS304テフロンコート Dispenser Air diaphragm
回転数 MAX3000rpm Speed of rotation MAX3000rpm
モーター 400W AC サーボモーター Motor 400W AC servo motor
搬送機 多関節ロボット Robot SCARA robot
ハンガー エッジクランプ方式 Chuck Edge cramp
ベーク ホットプレート3段、搬送シャトル方式 Baking Hot plate 3steps , shuttle moving
アンロード 1カセット収納 Unloader 1 cassette

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