本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経て
アンローダーに収納する装置です。
バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。
This M/C transports the mask received by loader automatically,
and it is the M/C which it pass, and put away each processing bath in unloader.
A batch type, scrub washing support with various options.
ウエハーやマスクガラスの洗浄機で、ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています。
Combind with brush and finejet cleans both sides of wafer and mask.
This is a fully automatic cleaner characterized by the cassette to cassette operation.
