| 総敷地面積 | 1,100㎡ |
| 一般組立室 | 350㎡ |
| クリーンルーム面積 | 651 ㎡ |
| - クリーンルーム第一 | 250 ㎡ |
| - クリーンルーム第二 | 325 ㎡ |
| - 部品倉庫 | 76 ㎡ |
| 温度 | 22℃ |
| 湿度 | 50% |
| 洗浄 | 10,000 USFed |
| 換気回数 | 17 回/H |
| 高さ | 4ｍ |
| 容積 | 2,604 ㎥ |
| 循環量 | 3,906 ㎥/h |
| 純水 | 18ＭΩ、10ｔ/h |
| 清浄度 | [測定使用計器] 照度 風速 |
エッチング装置/ウエハ洗浄装置/スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカー。
半導体、太陽電池、液晶の洗浄/エッチング/剥離/乾燥/コーター/現像などの装置製造。
研究用から量産用まで、細かなカスタマイズも行う、小回りのきく企業です。
ジャパンクリエイト株式会社
電話 04-2938-3111
FAX 04-2938-3116
ﾒｰﾙ info@japancreate.co.jp
〒359-1167
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